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Topography of nanometric thin films with three-wavelength digital interferometry

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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01905601
Contributeur : Nicolas Delorme <>
Soumis le : jeudi 25 octobre 2018 - 23:13:53
Dernière modification le : mercredi 8 juillet 2020 - 12:44:03

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Citation

Pascal Picart, Mokrane Malek, Jorge Garcia-Sucerquia, Mathieu Edely, Rahma Moalla, et al.. Topography of nanometric thin films with three-wavelength digital interferometry. Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Society of Photo-optical Instrumentation Engineers, 2015, 14 (4), ⟨10.1117/1.JMM.14.4.041309⟩. ⟨hal-01905601⟩

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