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Structural and Micromechanical Assessment of Electrochemically Grown Metal Layers for Si Magnetic Microactuators

Liste complète des métadonnées

https://hal-univ-lemans.archives-ouvertes.fr/hal-02468608
Contributeur : Nourdin Yaakoubi <>
Soumis le : jeudi 6 février 2020 - 00:42:24
Dernière modification le : jeudi 6 février 2020 - 15:36:05

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Susanna Martinez, Nourdin Yaakoubi, Christophe Serre, Alejandro Pérez-Rodríguez, Joan Ramon Morante, et al.. Structural and Micromechanical Assessment of Electrochemically Grown Metal Layers for Si Magnetic Microactuators. MRS Proceedings, 2000, 657, ⟨10.1557/PROC-657-EE4.2⟩. ⟨hal-02468608⟩

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