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Thermal Characterization of Dynamic Silicon Cantilever Array Sensors by Digital Holographic Microscopy

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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02504384
Contributeur : Antonin Novak <>
Soumis le : mardi 10 mars 2020 - 16:42:23
Dernière modification le : vendredi 4 septembre 2020 - 14:38:26

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Marjan Zakerin, Antonin Novak, Masaya Toda, Yves Emery, Filipe Natalio, et al.. Thermal Characterization of Dynamic Silicon Cantilever Array Sensors by Digital Holographic Microscopy. Sensors, MDPI, 2017, 17 (6), pp.1191. ⟨10.3390/s17061191⟩. ⟨hal-02504384⟩

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