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Communication dans un congrès
Détermination expérimentale des courbes de dispersion des Ondes Acoustiques de Surface (SAW) se propageant dans des multicouches métalliques déposées sur substrat de silicium
Résumé : L’ étude présentée consiste à déterminer les courbes de dispersion des modes de Rayleigh se propageant dans des multicouches Ni/Cu et Ni/CST/Cu déposées sur silicium pour deux orientations cristallographiques (100) et (111). Les modes de Rayleigh sont excités par un laser impulsionnel subnanoseconde et détectés par une sonde laser interférométrique. Les courbes de dispersion mesurées sont comparées aux courbes calculées à partir du formalisme de Stroh. Une technique d’estimation de l’épaisseur des multicouches est également proposée.
Littérature citée [17 références]
https://hal-univ-lemans.archives-ouvertes.fr/hal-02514052
Contributeur : Jean-Hugh Thomas <>
Soumis le : samedi 21 mars 2020 - 13:34:21
Dernière modification le : mardi 31 août 2021 - 10:33:30
Contributeur : Jean-Hugh Thomas <>
Soumis le : samedi 21 mars 2020 - 13:34:21
Dernière modification le : mardi 31 août 2021 - 10:33:30
Fichier
Y_DAMMAK_CFA2016.pdf
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